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MidiLab9000-CSI 电子级试剂金属杂质含量在线分析系统

MidiLab9000-CSI 电子级试剂金属杂质含量在线分析系统是一款用于半导体厂务及FAB产线中电子级湿化学品金属杂质含量的在线监测系统，提供电子级湿化学品“采样-传输-稀释-标曲-内标-进样-分析-报告”全流程解决方案。

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优势特点

  • “多”—集中或分布式采样点20个以上
  • “快”—单个样品分析和异常复测15分钟
  • “好”—无阀流路设计，ppt级流路本底
  • “省”—省人，全自动在线分析；省心，自动在线配制标曲，效率提升；省成本，高纯试剂用多少配多少，无需清洗配标容器，高纯试剂消耗量几乎降为0
半导体分析
半导体湿电子化学品金属杂质在线检测
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